Перспективные отечественные МЭМС-датчики давления жидкости и газа

Перспективные отечественные МЭМС-датчики давления жидкости и газа 30.03.2018     В статье описан опыт создания отечественных МЭМС-датчиков давления для жидкостей и газов, приведены подробности конструкции и результаты пробной эксплуатации.

Статья впервые опубликована в журнале «Современная электроника» № 9-2017, www.soel.ru


Загрузить статью в формате .pdf

Возврат к списку